一、無塵車間和靜電。

        1.無塵車間。

        半導(dǎo)體。平面液晶顯示器。光電子和生物醫(yī)學(xué)都需要一個干凈的生產(chǎn)車間。通常，無塵車間是指控制在規(guī)定界限內(nèi)的空間空氣懸浮顆粒濃度的房間或限制空間。灰塵顆粒的粒徑越小，小，清潔度越高。

        2.無塵車間的靜電。

        由于無塵車間的清潔度要求(常規(guī))

        ①大量高絕緣介質(zhì)裝飾材料.地面.墻.門.天花板.隔斷.工作臺.椅子等，這些材料摩擦容易起電帶電，不易泄漏釋放。

        地面500V~1000V，擴(kuò)散間塑料地面500V~1500V，瓷磚地面500V~1500V，塑料壁紙700V，塑料天花板OV~1000V，金屬活動椅面500V~3000V。

        ②人們穿著干凈的工作服.鞋子.步行或工作時，與不同的物質(zhì)設(shè)備和設(shè)備摩擦?xí)a(chǎn)生靜電，人.衣服.鞋子帶電。

        人們穿尼龍服。塑料膠底鞋在干凈的地板上緩慢行走，人們帶來7000V~8000V靜電壓。在乙烯基地板上行走時，可以帶來1200V(10%~20%RH)、250V(65%~90%RH)、35000V(10%~20%RH)、1500V(65%~90%RH)和晶片裝配線。

        ③空調(diào)氣流通過初效過濾器.中效過濾器.髙效過濾器，無塵出口氣流帶靜電。鋁板出風(fēng)口.回風(fēng)口約500~1000V。

        ④大量的絕緣設(shè)備、設(shè)備和工具也是重要的靜電電荷源。晶片裝配生產(chǎn)線：晶片裝配箱35KV、有機(jī)玻璃蓋8KV、石英產(chǎn)品1.5KV、晶片托盤6KV、丙烯酸脂肪蓋20KV、桌面10KV、塑料儲物柜30KV、玻璃纖維晶體載料箱10KV滑過聚丙烯桌面。

        簡而言之：無塵車間的清潔度要求越高，靜電帶電就越嚴(yán)重。

        二、無塵車間靜電的危害。

        1.靜電庫侖力。

        在靜電庫侖力的作用下，吸附的灰塵。污垢會增加部件泄漏或短路，損壞性能，大大降低成品率和可靠性。如粉塵粒徑>100μm，鋁線寬度約100μm，氧化膜厚度為50μm，罪容易使產(chǎn)品報廢?，F(xiàn)在線徑更薄，氧化膜很薄，粉塵顆粒很小會損壞部件，這種情況主要發(fā)生在腐蝕清洗、光刻、點焊、包裝等過程中。

        2.靜電放電。

        (1)元件的絕緣氧化膜被擊穿，導(dǎo)線被燒斷或線間熔斷。如果人體帶有10KV(100PF)的靜電荷，觸摸器件腳時會發(fā)生ESD，脈沖放電電流的峰值可以瞬間形成到20A(10~100s)，更不用說高密度、細(xì)線徑、薄SiO2膜的Lsi.Vlsi，也就是一般IC.MOS。

        一般來說，設(shè)備絕緣柵SiO2膜的耐壓場強(qiáng)度為E=(5-10)×106V/cm。如果設(shè)備SiO2膜厚度為1000，則其設(shè)備輸入腳的靜電壓將被擊穿50V-100V以上，人體靜電超過50V.100V是很常見的。

        (2)引起噪發(fā)射電磁波干擾！

        ESD導(dǎo)致EMI電磁波前后峰尖銳，信號強(qiáng)，相當(dāng)于電路中幾伏的能量，頻率跨越幾MH2甚至幾百MH2的強(qiáng)噪聲，可能導(dǎo)致部件損壞，設(shè)備和傳感器工作異常，甚至設(shè)備死亡。

        ESD引起的EMI也會導(dǎo)致錯誤信號的輸入或鎖定。例如，在無塵室中，將晶片的EMIF箱放置在鋼制手推車上，晶片的ESD將通過電感傳輸給手推車。如果車輪是絕緣的，EMI的擴(kuò)散將導(dǎo)致晶片處理機(jī)死亡。

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