半導(dǎo)體廠房潔凈車間降低能耗的10個(gè)解決方案(三)
2022-04-23 來自: 海博爾凈化工程有限公司 瀏覽次數(shù):296
七、自由冷卻使用外面的空氣進(jìn)行冷卻是經(jīng)濟(jì)的,在商業(yè)大樓得到廣泛采用
另外一種 “自由冷卻”方案適用于需要恒定的冷凍水以及風(fēng)機(jī)盤管的系統(tǒng),比如潔凈室。自由冷卻技術(shù)直接利用處在低溫或低濕度環(huán)境中的冷卻塔制造冷凍水,減少或取代冷凍機(jī)的使用。根據(jù)天氣的變化,使用自由冷卻系統(tǒng)可以把冷卻系統(tǒng)的耗能減少到十分之一(從0.5千瓦/冷噸減少到0.05千瓦/冷噸)。
直接與工藝負(fù)荷進(jìn)行熱交換,可以使自由冷卻技術(shù)利用(凈化工程)外面溫度較高的大氣,要比用在二級(jí)或者三級(jí)熱交換系統(tǒng)進(jìn)行熱交換的時(shí)間長(zhǎng)出若干個(gè)小時(shí)。由板式熱交換器分隔開來的冷卻水和冷凝水之間的溫差很接近(比如只有2oF)。當(dāng)溫度和濕度相當(dāng)?shù)蜁r(shí),冷卻塔可以獨(dú)立運(yùn)行,無需風(fēng)機(jī)。根據(jù)溫濕圖,很多地方每年有很多的時(shí)間都可以進(jìn)行自由冷卻。
八、熱量回收許多任務(wù)廠都要消耗大量的能量來制熱,同時(shí)又消耗更多的能量從工藝過程中移除“廢”熱,卻沒有把這兩個(gè)過程結(jié)合起來。回收的熱量可以用來預(yù)熱新風(fēng),送風(fēng)再熱,以及其它用途。AHU預(yù)熱盤管可以用廢水預(yù)熱外來的空氣(在炎熱的天氣下也可預(yù)冷)。
再熱盤管可以從空氣壓縮機(jī)或者冷凍機(jī)的冷凝器回水中回收廢熱,同時(shí)節(jié)省了冷凍機(jī)能量和鍋爐燃料。熱交換器可以使不能混合或者直接接觸的不同介質(zhì)進(jìn)行熱量交換。
九、變頻泵過去配備變頻驅(qū)動(dòng)的設(shè)備經(jīng)常出現(xiàn)故障,而且控制復(fù)雜,所以很多工程師和管理人員不愿意使用變頻驅(qū)動(dòng)。
可靠性比節(jié)能更重要,而老的變頻驅(qū)動(dòng)可靠性差。近十年中,變頻驅(qū)動(dòng)可靠性提高了,價(jià)格降低了。許多關(guān)鍵系統(tǒng)現(xiàn)在都在使用變頻驅(qū)動(dòng)。
我們認(rèn)為在潔凈室中的許多系統(tǒng)和各類的泵上使用變頻驅(qū)動(dòng)是安權(quán)(凈化工程)和劃算的。實(shí)際上,可以證明考慮投資回收率卻不使用變頻驅(qū)動(dòng)是不負(fù)責(zé)任的,因?yàn)槠渫顿Y回收期不滿一年。冷凍水和冷凝水的泵系統(tǒng)流量變化較大,冷凍水和冷凝水系統(tǒng)有罪小流量要求,基本上在50%到75%之間。根據(jù)“立方定則”,流量減少很小,就會(huì)產(chǎn)生可觀的能量節(jié)約。流量減少20%,就會(huì)產(chǎn)生幾乎50%的泵功率下降。
大多數(shù)已知的冷凍水系統(tǒng)使用壹級(jí)泵定流量/二級(jí)泵變流量設(shè)計(jì),二級(jí)泵采用變頻驅(qū)動(dòng)。使用變頻驅(qū)動(dòng)時(shí),所有冷凍水要使用雙道通閥,否則就失去使用變頻泵的意義了。新建工廠時(shí),使用變流量壹級(jí)泵系統(tǒng),不再需要二級(jí)泵,節(jié)省了工程費(fèi)用。運(yùn)行適當(dāng),這套簡(jiǎn)單可靠的系統(tǒng)可以通過冷凍機(jī)中的冷凍水流量變化而節(jié)約大量能源。這項(xiàng)技術(shù)被冷凍機(jī)供應(yīng)商和各種zhuan業(yè)協(xié)會(huì)所廣泛宣揚(yáng)。
十、離心式壓縮機(jī)空氣壓縮機(jī)的改進(jìn)節(jié)約了大量能源
離心式壓縮機(jī)是無油的,比螺桿式壓縮機(jī)的效率高很多。但是離心式壓縮機(jī)不能空轉(zhuǎn),這使得他們?cè)谪?fù)載低的情況下效率很低。罪有效和經(jīng)濟(jì)的辦法是離心式和螺桿式壓縮機(jī)兩者結(jié)合使用。選用離心機(jī)組滿足基本負(fù)荷,再用小一些的螺桿式機(jī)組滿足峰值負(fù)荷。壓縮機(jī)組應(yīng)該配有熱回收系統(tǒng)。