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電子半導(dǎo)體無塵車間
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電子電子車間凈化
16電子光導(dǎo)纖維車間凈化
潔凈室竣工后，針對潔凈室的空氣潔凈度，應(yīng)進行下列測試：
空態(tài)測試：潔凈室已竣工，凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài)，室內(nèi)沒有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下進行測試。
靜態(tài)測試：潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài)，工藝設(shè)備已安裝，室內(nèi)沒有生產(chǎn)人員的情況下進行測試。
動態(tài)測試：潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進行測試。潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測，可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
方法
潔凈工作區(qū)空氣潔凈度的測試方法對于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計數(shù)，宜采用光散射粒子計數(shù)法。對于粒徑大于或等于5微米的塵粒計數(shù)也可采用濾膜顯微鏡計數(shù)法。
