電子半導體無塵車間的環境與生產要求
2021-01-28 來自: 海博爾凈化工程有限公司 瀏覽次數:350
電子半導體無塵車間的環境與生產要求
隨著半導體制程技術的飛速發展，芯片線寬已經進入納米級，相應的產品對半導體產品生產環境的要求也越來越高，因此半導體凈化工程潔凈室內系統的運行狀態對硅芯片品質和通過率的影響舉足輕重，凈化潔凈室的潔凈等級也需要有一個公認的標準，比如以Class10為例，意謂在單位立方英寸的潔凈室空間內，平均只有粒徑0.5微米以上的粉塵10粒。所以Class后頭數字越小，潔凈度越佳，當然其造價也越昂貴。
半導體凈化車間潔凈度等級標準及要求半導體特性決定其制造過程需要有潔凈度要求，環境中雜質對半導體的特性有著改變或破壞其性能的作用，而雜質各式各樣，如金屬離子會破壞半導體器件的導電性能，塵埃粒子破壞半導體器件的表面結構等，所以在半導體器件生產過程中對什么都需要嚴格控制。為此深圳賽納威開始開發多通道遠程遙測激光塵埃粒子計數器及遠程監控系統，它可以即時檢測到單位體積空氣中的顆粒物數量，還能實現7*24實時遠程自動監測，并以其快速、準確的特點，在電子行業、制藥車間、半導體、光學或嚴謹機械加工等潔凈室環境自動監測系統中得到了廣泛的應用。
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